林姣素微纳米加工聚焦离子束fib

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总结多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术电子束曝光技术聚焦离子束加工技术扫描探针加工技术微纳米尺度的复制技术各种沉积法与刻蚀法图形转移。

电路修改的艺术lt 封装后的芯片，为了功能测试，有时需要连接特定线路FIB通过聚焦离子束，犹如手术刀般精准，能穿透封装，Alt先将钝化层打开，Blt暴露线路，接着Clt沉积铂Pt等材料，实现线路间的无缝连接。

FIB聚焦离子束，Focused Ion beam是将液态金属Ga离子源产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像此功能与SEM扫描电子显微镜相似，或用强电流离子束对表面原子进行剥离，以完成微。

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FIB 利用高强度聚焦离子束通常为镓离子对材料进行纳米加工，配合扫描电镜SEM，可同时实现对样品的加工和观察 目前，蔡司和赛默飞都推出了聚焦离子束显微镜 FIBSEM示意图，与聚焦离子束的三种工作模式 a成像b加工c沉积。

FIB带有SEM功能FIB另外的功能就是微纳加工SEM是电子束成像原理FIB中带有电子束成像，也可以离子束成像一般不用，对样品表面形貌损伤太大如果您只观察形貌的话，用SEM即可，FIB的电子束成像方面和SEM都一模一样。

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